◆沿革◆

１９６４年	理学部物理学科がヘリウム液化装置（8L/H）及び窒素液化装置（6L/H）を導入。
１９６５年	学内共同利用施設となる。
１９６８年	液化センター棟を建築。水素液化装置（4L/H）導入。
１９６９年	窒素液化装置（24L/H）導入。 液体窒素貯蔵タンク（2,610L）設置。
１９７２年	ヘリウム液化装置（30L/H）導入。液体窒素貯蔵タンク（2,500L）設置。
１９８２年	１９７２年導入のヘリウム液化装置を改造、自動化する。 液体ヘリウム貯蔵タンク（1,000L）設置。
１９９０年	ヘリウム液化装置（40L/H）導入。液体ヘリウム貯蔵タンク（2,000L）設置。 液体窒素貯蔵タンク（4,480L）設置。液体窒素の供給を自動化する。
１９９５年	理学部共同実験棟完成と同時に極低温液化センター移設。新ヘリウム液化装置導入。 液体ヘリウム貯蔵タンク（2,000L）、液体窒素貯蔵タンク（10,000L）設置。
２００５年	ヘリウム液化装置（120L/H）導入。液体ヘリウム貯蔵タンク（5,000 L）設置。
２０２１年	ヘリウム液化装置（130L/H）導入。液体ヘリウム貯蔵タンク（4,000L）設置。